“潔凈室”是指為清除一定空間范圍內(nèi)空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌等污染物，將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度及分布、噪聲、振動(dòng)、照明、靜電等控制在一定需求范圍內(nèi)而專門設(shè)計(jì)的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外界空氣條件如何變化，房間都能具有保持原有設(shè)定要求的潔凈度、溫度、濕度、壓力等性能的特性。
潔凈室最重要的功能是控制產(chǎn)品(如硅片等)所處環(huán)境的潔凈度、溫度和濕度。)都是暴露的，這樣產(chǎn)品就可以在一個(gè)良好的環(huán)境空間里生產(chǎn)制造，我們稱之為“潔凈室”。
潔凈室控制：可以防止塵埃粒子的產(chǎn)生；溫度和濕度控制。
潔凈室之分類
1.亂流式：空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。
2.層流式：水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對(duì)邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重；垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所
3.復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
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