無(wú)塵車(chē)間的溫度和濕度主要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，應(yīng)首先考慮人的舒適性。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求越來(lái)越高，必須滿足一定的溫濕度要求。比如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過(guò)程中，溫度升高可能會(huì)引起線膨脹，濕度值一般較低。

對(duì)于大多數(shù)潔凈空間，為了防止外界污染的侵入，需要保持內(nèi)部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。壓差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1.具有高清潔度水平的空間的壓力高于具有低清潔度水平的相鄰空間的壓力。

2.相通的潔凈室之間的門(mén)應(yīng)向潔凈度高的房間敞開(kāi)。

3.潔凈空間的壓力高于不潔凈空間的壓力。